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康耐德智能晶圆点胶贴合视觉检测

发布时间:2025-12-07浏览量:27


晶圆点胶贴合是半导体封装和MEMS制造中的关键工艺,其质量直接影响到产品的良率和可靠性。
在晶圆或基板上精确涂布胶水,康耐德智能晶圆点胶贴合视觉检测系统贯穿其中.

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主要检测点胶过程陷缺,检测胶型缺陷包括:
       1.胶宽/胶高不均:胶线宽度或高度超出规格公差。
       2.断胶:胶线不连续,出现中断。
       3.溢胶:胶水溢出到预定区域之外,可能造成短路或污染。
       4.胶量不足:胶水过少,导致粘结强度不够或形成空洞。
       5.拉丝:点胶头抬起时产生细丝状胶丝。
       6.气泡:胶水中混入空气,形成气泡,影响粘结强度和密封性。

采用定制化的照明方案结合体高分辨率工业相机,用于检测断胶、溢胶、拉丝和大的气泡。并测量胶线的宽度、面积、位置坐标、圆度等,与标准值进行比较。
通过激光线扫描,重建胶水的3D轮廓,精确测量胶高和胶量。

将提取的特征与预设的公差范围进行比对,输出OK/NG信号。

康耐德智能晶圆点胶贴合视觉检测系统依赖于对工艺的深刻理解、精准的硬件选型以及强大的软件算法与AI。成为提升高端制造业智能化水平和产品良率的关键核心技术。

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